PTT株式会社

ミクロ領域の膜厚を同時に測定し、任意の箇所を選択することでその箇所の膜厚を表示することが可能です。
高精度と使い易さを追求し設置スペースを広く必要としない 測定システムです。

半導体の各種プロセス膜：CMP材料やプロセス評価の際のSiO2やSiN膜の測定
プリント配線基板上のレジストや表面保護膜
液晶ディスプレイ上のＩＴＯやレジスト膜の測定

カタログ　薄膜測定ガイドブック（2,133KB）

カタログ 膜厚測定システムF42（1,737KB）

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