自動膜厚マッピングシステム
F50
F50
F50はF20にマッピングの機能が追加されたものです。
コンピュータプログラムにより設定されたパターンや測定ポイント数に応じて、モーターステージを自動的に測定点に移動し、膜厚のマッピングを行います。
膜厚分布は２次元のカラーコンター図で表示されます。
自動ステージは、２インチから12インチまでの様々な大きさの基板に対応します。
Siウェハー・化合物ウェハー等の面内膜厚分布測定
データはAdobe Systems(アドビシステムズ社)のPortable Document Format (PDF)形式です。Adobe(R) Readerをダウンロードの上ご覧ください。
| 分光波長範囲 | 400-1000nm(その他設定あり) |
|---|---|
| 測定可能サイズ | 4〜12インチ（その他設定あり） |
●透過光オプション
●コンタクトプローブ
●レンズアダプタ
●顕微鏡用アダプタ
●回転ステージ
など、ニーズにマッチしたシステムをご提案いたします。
