PTT株式会社

F30はF20の仕様に加え、ある特定波長の反射光の時間変動をモニタできる機能を追加したモデルです。薄膜のデポジション中に反射光の時間変化をモニタすることにより、In−Situの薄膜の膜厚・デポジションレートを知ることができます。
MOCVD装置などのプロセスモニターとして使用でき、装置のビューポートを介してレンズ付ファイバープローブを測定基板に垂直になるように取付けます。測定距離は１m程度まで可能です。

MOCVD装置などのプロセスモニター

カタログ_膜厚測定原理の謎を解く（4,550KB）

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●透過光オプション
●コンタクトプローブ
●レンズアダプタ
●顕微鏡用アダプタ
●回転ステージ
など、ニーズにマッチしたシステムをご提案いたします。