

反射分光法とカーブフィット法を組み合わせた光学式薄膜測定装置です。
透明または半透明な薄膜の表面と基板との界面からの反射を解析することにより、数秒で解析が簡単に行えます。また膜厚の他、光学定数の測定もこの1台で行えますので、オリジナル材料の登録が可能であり、お客様の使用用途に沿った運用ができます。
このようにF20シリーズはパワフルでシンプルな低価格システムです。
フォトレジスト、酸化膜、窒化膜、機能性フィルム、光学膜、各種保護膜、ITO膜、DLC膜、その他有機薄膜等
| 分光波長範囲 | 200-1100nm、400-1000nm、400-1700nm (その他設定あり) |
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●透過光オプション
●コンタクトプローブ
●レンズアダプタ
●顕微鏡用アダプタ
●回転ステージ
など、ニーズにマッチしたシステムをご提案いたします。